[发明专利]限位装置及限位系统有效
| 申请号： | 201810909764.0 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN110814785B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 黄亚庆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q1/26 | 分类号： | B23Q1/26;B25H1/14 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种限位装置及限位系统，包括：与运动台的动子或定子固定连接的限位框，与运动台的定子或动子固定连接的中空的限位柱中心杆，所述限位柱中心杆的端部通过套设的缓冲件安装在所述限位框内，所述缓冲件与限位框之间留有间隙，以及安装在所述限位柱中心杆内的传感器，所述传感器与所述限位柱中心杆的内壁之间非接触；限位装置系统，包括多个限位装置。在本发明提供的限位装置及限位系统中，能有效减小运动台边界的极限偏移量；且能避免运动台在极限位置时电机仍在发力，造成结构损坏或电机烧毁。 | ||
| 搜索关键词： | 限位 装置 系统 | ||
【主权项】：
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