[发明专利]一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪在审
| 申请号： | 201810899243.1 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN108955516A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 秦朝朝;王腾远;武佳美;茹媛;徐潇雅;高怡雯 | 申请（专利权）人： | 河南师范大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 41139 | 代理人： | 路宽 |
| 地址： | 453007 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪，包括相干光源及偏振延迟系统和同步移相系统，相干光源及偏振延迟系统1包括半导体激光器、1/2 |
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| 搜索关键词： | 波片 同步移相 全反镜 透镜 偏振分光棱镜 纳米测量 偏振延迟 相干光源 光阑 半导体激光器 抗干扰能力 数据采集卡 偏振片组 全息光栅 一维导轨 影响问题 振动产生 激光器 反射镜 干涉 超强 二维 正交 测量 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪，包括相干光源及偏振延迟系统（1）和同步移相系统（2），其特征在于：相干光源及偏振延迟系统（1）包括半导体激光器（3）、1/2![]()
波片（4）、第一1/4![]()
波片（5）、第一全反镜（6）、第二1/4![]()
波片（7）、第二全反镜（8）、偏振分光棱镜（9）和一维导轨（21），同步移相系统包括反射镜（10）、第一光阑（11）、第一透镜（12）、第三1/4![]()
波片（13）、第二透镜（14）、第二光阑（15）、偏振片组（16）、第三透镜（17）、CCD（18）、数据采集卡（19）、计算机（20）和二维正交全息光栅（22），激光器（3）和偏振分光棱镜（9）之间设置有1/2![]()
波片（4），偏振分光棱镜（9）和第一全反镜（6）、第二全反镜（8）之间分别设置有第一1/4![]()
波片（5）和第二1/4![]()
波片（7），第一透镜（12）和第二透镜（14）之间分别设置有第三1/4![]()
波片（13）和二维正交全息光栅（22）。
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