[发明专利]用于坐标测量机的空气轴承装置、坐标测量机和制造方法在审
| 申请号： | 201810895491.9 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN109405786A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | M.兰马克;G.扎尔思;W.斯特劳斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于坐标测量机的空气轴承装置，其用于两个构件的相对彼此可移动的支承，且具有至少一个活动轴承元件(12)和固定轴承元件(11)以及至少一个压缩空气供给装置，通过压缩空气供给装置能够在活动轴承元件与固定轴承元件之间构造压缩空气垫，从而活动轴承元件能与固定轴承元件间隔地移动，其中，活动轴承元件具有至少一个工作面(16)，并且固定轴承元件具有至少一个配合工作面(17)，活动轴承元件和固定轴承元件沿着工作面(16)和配合工作面(17)相互间相对彼此运动，并且其中，工作面(16)和/或配合工作面(17)设有由金刚石或类金刚石碳构成的涂层(18、19)。本发明还涉及一种具有至少一个这种空气轴承装置的坐标测量机和一种用于制造空气轴承装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 固定轴承 活动轴承 空气轴承装置 坐标测量机 压缩空气供给装置 配合 类金刚石碳 压缩空气垫 金刚石 元件间隔 可移动 支承 制造 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于坐标测量机的空气轴承装置，所述空气轴承装置用于两个构件的相对彼此可移动的支承，所述空气轴承装置具有至少一个活动轴承元件(12)和固定轴承元件(11)以及至少一个压缩空气供给装置，通过所述压缩空气供给装置能够在活动轴承元件与固定轴承元件之间构造压缩空气垫，从而活动轴承元件能与固定轴承元件间隔地移动，其中，活动轴承元件具有至少一个工作面(16)，并且固定轴承元件具有至少一个配合工作面(17)，活动轴承元件和固定轴承元件沿着所述工作面(16)和配合工作面(17)相互间相对彼此运动，其特征在于，所述工作面(16)和/或配合工作面(17)设有由金刚石或类金刚石碳构成的涂层(18、19)。
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