[发明专利]平面校正装置及包含其的半导体测试设备在审
| 申请号： | 201810887942.4 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN109425760A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 古柏如;陈威廷 | 申请（专利权）人： | 汉民科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R35/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 中国台湾台北市大*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种平面校正装置包含：第一基座，其设置于半导体测试设备的一测试头；第二基座，其设置于半导体测试设备的探针台，且与第一基座相对；多个校正杆，其设置于第一基座以及第二基座之间，其中，每一校正杆的突出高度可调整，以校正探针台至预定平面；以及多个固定件，其设置于第一基座或第二基座，以固定探针台以及测试头间的相对位置。本发明更提供一种包含上述平面校正装置的半导体测试设备。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体测试设备 平面校正 测试头 探针台 校正杆 固定探针 预定平面 固定件 可调整 校正 | ||
【主权项】：
1.一种平面校正装置，其特征在于，包含：一第一基座，其设置于一半导体测试设备的一测试头(test head)；一第二基座，其设置于该半导体测试设备的一探针台(prober stage)，且与该第一基座相对；多个校正杆，其设置于该第一基座以及该第二基座之间，其中，每一该校正杆的一突出高度可调整，以校正该探针台至一预定平面；以及多个固定件，其设置于该第一基座或该第二基座，以固定该探针台以及该测试头间的一相对位置。
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