[发明专利]磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺在审
| 申请号： | 201810878424.6 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108842138A | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 燕怒;宋日升;于江 | 申请（专利权）人： | 江苏宋和宋智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 42226 | 代理人： | 彭娅 |
| 地址： | 223600 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺，该材料包括轴承钢，轴承钢表面通过磁控溅射镀制有TiN涂层。采用真空磁控溅射在轴承钢材表面镀制TiN涂层，磁控溅射过程中各参数控制为本底真空度2.0×10‑3pa；工作气压0.5pa；氩流量30sccm；氮流量2sccm；溅射功率100W；靶基距60±10mm；加热温度400℃；溅射时间30min。本发明通过在轴承钢材料表面采用磁控溅射技术镀制TiN涂层，可以改善材料性能，尤其是材料表面性能，可有效提升工件的耐磨损、抗氧化、耐腐蚀等性能，并能延长轴承钢工件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 轴承钢 耐磨材料 新型轴承 镀制 制备 材料表面性能 磁控溅射技术 真空磁控溅射 本底真空度 轴承钢材料 参数控制 改善材料 工作气压 溅射功率 使用寿命 轴承钢材 靶基距 表面镀 氮流量 抗氧化 耐腐蚀 耐磨损 溅射 加热 | ||
【主权项】：
1.磁控溅射TiN涂层制备新型轴承用耐磨材料的工艺，其特征在于：该材料包括轴承钢，轴承钢表面通过磁控溅射镀制有TiN涂层；磁控溅射过程中各参数控制为本底真空度 2.0×10‑3pa；工作气压 0.5pa；氩流量30sccm；氮流量 2sccm；溅射功率 100W；靶基距 60±10mm；加热温度 400℃；溅射时间30min。
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