[发明专利]一种基板叠材的检测装置及检测方法有效

专利信息
申请号: 201810871868.7 申请日: 2018-08-02
公开(公告)号: CN109100365B 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 李业飞;罗平;洪俊 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/01;G01B11/02;G01B11/24
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 钟子敏
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请提供了一种基板叠材的检测装置及检测方法,该检测装置包括:光源设备,采光设备,以及处理设备,与采光设备耦合连接。其中,光源设备发出的入射光与待检测基板叠材所在的平面的夹角为θ1,0θ1180°,采光设备采集待检测基板叠材对入射光的反射光以形成检测图像,处理设备处理检测图像,分析检测图像的参数是否匹配预设参数。本申请通过调整入射光与待检测基板叠材所在的平面的夹角,能够提高检测效果。
搜索关键词: 一种 基板叠材 检测 装置 方法
【主权项】:
1.一种基板叠材的检测装置,其特征在于,所述检测装置包括:光源设备;采光设备;以及处理设备,与所述采光设备耦合连接;其中,所述光源设备发出的入射光与所述基板叠材所在的平面的夹角为θ1,0<θ1<180°,所述采光设备采集所述基板叠材对所述入射光的反射光以形成检测图像,所述处理设备处理所述检测图像,分析所述检测图像的参数是否匹配预设参数。
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