[发明专利]一种真空镀膜机基片架传送系统

摘要

本发明公开了一种真空镀膜机基片架传送系统，包括机械平移机构、磁导平移机构、升降机构、控制模块，机械平移机构包括与驱动马达连接的传动杆Ⅰ，与传动杆Ⅰ两端连接的安装板上Ⅰ，与安装板上Ⅰ连接的平移马达Ⅰ，磁导平移机构包括固定在连接杆上的磁导向装置，设置在磁导向装置两端的夹具，平移马达Ⅱ驱动的安装板Ⅱ，升降机构包括固定在真空室底板下方的两个气缸，与气缸连接的端板，端板的两端各设有一伸入至真空室内用于顶起基片架的支撑座。本系统解决了多个基片架在单箱体真空环境下的平移互换功能，能实现每个基片架的独立传输，缩短了整个真空设备的长度，提高了生产效率，整个工作过程都在真空环境下进行，不会造成真空度的变化。

主权项

1.一种真空镀膜机基片架传送系统，其特征在于：包括机械平移机构、磁导平移机构、升降机构、控制模块，所述机械平移机构包括多根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆Ⅰ，传动杆Ⅰ的两端分别安装在两块安装板上Ⅰ，在真空室与安装板Ⅰ之间的传动杆Ⅰ外套有波纹管，波纹管两端分别与真空室侧板以及安装板Ⅰ密闭连接，在传动杆Ⅰ其中一端的末端安装有同步带轮，相邻两根传动杆Ⅰ上的同步带轮安装位置相对，在两块安装板Ⅰ上各安装有一驱动马达，驱动马达通过同步带与同侧的传动杆Ⅰ上的同步带轮连接，在真空室内的传动杆Ⅰ上装有两个或两个以上的摩擦轮，相邻两根传动杆Ⅰ上的摩擦轮交错排布，相隔的两根传动杆Ⅰ上的摩擦轮对应在同一直线上；在真空室底板上安装有平移马达Ⅰ，所述平移马达Ⅰ通过同步带连接有丝杠Ⅰ，丝杠Ⅰ上的丝杠螺母Ⅰ与其中一块安装板Ⅰ连接，安装板Ⅰ下方设有平移导向装置；所述磁导平移机构包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板Ⅱ上，在安装板Ⅱ与真空室之间的连接杆外套有波纹管，波纹管两端分别于安装板Ⅱ及真空室侧板密闭连接，连接杆的另一端套在固定在真空室侧板上的密封套筒内，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆Ⅱ，在传动杆Ⅱ上固定有与磁导向装置一一对应的夹具，传动杆Ⅱ一端与固定在安装板上的旋转马达连接，在安装板Ⅱ与真空室之间的传动杆Ⅱ外套有波纹管，波纹管两端分别与安装板Ⅱ及真空室侧板密闭连接，传动杆Ⅱ的另一端套在固定在真空室侧板上的密封套筒内，所述安装板Ⅱ与平移驱动装置连接，所述平移驱动装置包括平移马达Ⅱ、与平移马达Ⅱ连接的丝杠Ⅱ、与丝杠Ⅱ配合的丝杠螺母Ⅱ，所述丝杠螺母Ⅱ与安装板Ⅱ连接，安装板Ⅱ上方设有平移导向装置；所述升降机构包括固定在真空室底板下方的两个气缸，两个气缸的活塞杆端连接在同一块端板上，所述端板的两端各设有一支撑杆，所述支撑杆穿透真空室底板伸入至真空室内，支撑杆的顶端连接支撑座，支撑杆穿过真空室底板处设有密封板，在真空室与端板之间的支撑杆外套有波纹管，所述波纹管两端分别与密封板和端板密闭连接；所述控制模块用于控制驱动马达、平移马达Ⅰ、平移马达Ⅱ、旋转马达、气缸的动作。