[发明专利]一种对薄膜样品进行微区磁光椭偏光谱分析的装置及其应用

摘要

本发明涉及一种对薄膜样品进行微区磁光椭偏光谱分析的装置及其应用。本发明所述装置包括光源模块、起偏模块、样品台、磁场模块、检偏模块、探测及分析模块和电机控制模块。通过使用氙灯光源加单色仪的组合来实现光谱磁光椭偏分析，光谱测量范围为300nm‑800nm，精确度为0.2nm，重复性为0.1nm；使用准直镜和成像单元以及CCD实现接收整个光斑范围内样品各个微区的光强信息，光斑直径为3mm，可分辨的最小微区直径为2um，CCD的每个像素点都与样品的不同微区相对应，通过分析CCD各个像素点的光强信息实现对样品表面光斑范围内所有微区的磁光椭偏分析。

主权项

1.一种对薄膜样品进行微区磁光椭偏光谱分析的装置，其特征在于，包括计算机、电磁铁和按光路方向依次设置的氙灯光源、单色仪、光纤耦合器、输出光纤、准直镜、起偏器、样品台、显微物镜、镜筒透镜、检偏器和CCD；所述样品台设置在电磁铁两个磁极的中心位置；电磁铁通过磁铁控制系统与计算机连接；所述起偏器和检偏器分别与电机的转动轴连接；电机通过电机控制模块与计算机连接；单色仪与计算机连接；所述氙灯光源、单色仪、光纤耦合器和输出光纤组成光源模块；所述准直镜和起偏器组成起偏模块；所述电磁铁和磁铁控制系统组成磁场模块；沿光轴设置的显微物镜和镜筒透镜组成成像单元；所述成像单元和检偏器组成检偏模块；所述CCD和计算机组成探测及分析模块；所述起偏模块和检偏模块设置在所述样品台的两侧，且与样品台的夹角均为φ。