[发明专利]主动隔振装置有效
| 申请号： | 201810826436.4 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109307042B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 岸本伊知郎;阿部成吾;星田莉奈;李敏;高桥伸悟 | 申请（专利权）人： | 仓敷化工株式会社 |
| 主分类号： | G05D19/02 | 分类号： | G05D19/02;F16F15/027;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 日本冈山县仓敷市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种主动隔振装置(A)，其包括：承载台(4)，其通过承受推力而移动，来对承载物(S)进行定位；隔振台(1)，其支承承载台(4)；伺服阀(24)，其用于对隔振台(1)施加可抑制该隔振台(1)的振动的控制力；位置与推力获取部(6d)，其获取承载台(4)的移动轨迹上的位置以及进行该移动时承载台4实际承受的推力；以及减振FF控制部(6e)，其根据位置与推力获取部(6d)所获取的内容，对伺服阀(24)进行前馈控制，以使控制力与隔振台(1)上随承载台(4)的移动而产生的振动相匹配。让具有可动式承载台的主动隔振装置实现优异的隔振性能。 | ||
| 搜索关键词： | 主动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种主动隔振装置，其特征在于，包括：承载台，其通过承受推力而移动，来对承载物进行定位，隔振台，其用于支承所述承载台，致动器，其用于对所述隔振台施加可抑制该隔振台的振动的控制力，承载台状态获取部，其用于获取所述承载台的移动轨迹上的位置以及进行该移动时所述承载台实际承受的推力；以及控制部，其根据所述承载台状态获取部所获取的内容，控制所述致动器，以使控制力与所述隔振台上随所述承载台的移动而产生的振动相匹配。
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