[发明专利]用于测试集成电路的探针卡系统有效
| 申请号： | 201810825434.3 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109298215B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | V.V.根金;A.N.普罗宁;J.A.彼得斯 | 申请（专利权）人： | 基思利仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘书航;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于测试集成电路的探针卡系统。一种用于测试集成电路晶片的系统，该系统包括具有探针尖针和包围压力室的探针主体的探针卡。探针主体包括一体式侧壁，除了第一端盖中的出口通道之外实质上封闭探针主体的第一端的第一端盖，以及被配置成将压缩气体引入到压力室内的入口通道。探针尖针是在压力室中并且被探针主体支承。探针尖针的自由端延伸通过出口通道。探针尖针的各端被探针尖针中的第一弯曲部分离，第一弯曲部具有位于探针尖针与一体式侧壁的纵向中心线之间的曲率中心。还公开了使用探针卡的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 集成电路 探针 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试集成电路晶片的系统，所述系统包括探针卡，所述探针卡具有：包围压力室的探针主体，探针主体包括：具有纵向中心线的一体式侧壁，入口通道，其被配置成将压缩气体引入压力室中；以及第一端盖，除了第一端盖中的出口通道之外实质上封闭探针主体的第一端，以及；探针尖针，其在压力室内并且在探针尖针的支承端处由探针主体支承，探针尖针的与支承端相对的自由端延伸通过第一端盖的出口通道，探针尖针的支承端通过探针尖针中的第一弯曲部与探针尖针的自由端分离，探针尖针中的第一弯曲部具有位于探针尖针和一体式侧壁的纵向中心线之间的曲率中心。
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