[发明专利]基于掠入射X射线光学仿真的MPO聚焦成像性能分析方法有效

专利信息
申请号: 201810814534.6 申请日: 2018-07-23
公开(公告)号: CN108920869B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 苏德坦;黎龙辉;金戈;张诗鲲;孙建宁;丛晓庆;顾燕;张振;韩晓明;刘文伟;裴晶 申请(专利权)人: 北方夜视技术股份有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20
代理公司: 南京行高知识产权代理有限公司 32404 代理人: 王培松
地址: 650217 云南*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明公开了一种基于掠入射X射线光学仿真的MPO聚焦成像性能分析方法,利用MPO方孔结构特性建立了MPO数学方程,再根据X射线掠入射全反射原理和蒙特卡洛成像方法建立了X射线在方孔内壁中传输模型,通过求解X射线每次全反射与方孔内壁的交点,从而追踪每次X射线的传播轨迹,当模拟的光线足够多时,可以更真实的反映X射线在微孔内部的传播规律。本发明针对MPO的不同结构缺陷进行X射线聚焦模拟仿真和分析,得到龙虾眼透镜不同情况下反射率η,有效面积Seff以及半高宽FWHM,可以量化不同结构缺陷程度对龙虾眼聚焦性能的影响。该分析方法不仅是发现质量问题、改进工艺参数的重要理论依据,对指导生产MPO也具有重要意义。
搜索关键词: 基于 入射 射线 光学 仿真 mpo 聚焦 成像 性能 分析 方法
【主权项】:
1.基于掠入射X射线光学仿真的MPO聚焦成像性能分析方法,其特征在于:利用MPO方孔结构特性对MPO中的方孔进行建模,以MPO中心方孔位置对应处的MPO外部设置点光源,模拟对MPO模型掠入射X射线,根据X射线掠入射全反射原理和蒙特卡洛成像方法建立X射线在方孔内壁中的传输模型,追踪X射线的传播轨迹,并根据最终出射MPO的X射线确定MPO聚焦性能参数。
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