[发明专利]硅片线切割方法在审
| 申请号： | 201810803403.8 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN108858842A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 孙信明 | 申请（专利权）人： | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 224400 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片线切割方法，包括：从放线轮向收线轮走线，使收线轮上的金刚线的一部分为旧线，另一部分为新线。从收线轮向放线轮走线，通过新线从零切割位置开始切割硅块。新线切割结束后，将收线轮上的旧线在放线轮和收线轮之间往复走线，使硅块持续向下移动，对硅块继续进行切割。在硅块剩余未切割部分的高度为h时，采用单向走线方式切割剩余硅块。直至金刚线切透所述硅块，其中h为1‑5mm。上述硅片切割方法中，采用新线从零切割位置开始切割硅块以及最后阶段通过单向放线方式切割剩余硅块，都有利于提高硅片的良品率。中间段采用旧线以双向走线方式切割硅块，有利于节约用线。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 硅块 收线轮 放线轮 旧线 走线 硅片线切割 切割位置 金刚线 剩余硅 单向走线 硅片切割 双向走线 向下移动 最后阶段 良品率 中间段 放线 硅片 节约 | ||
【主权项】：
1.一种硅片线切割方法，其特征在于，包括：从放线轮向收线轮走线，使收线轮上的金刚线的一部分为旧线，另一部分为新线；从收线轮向放线轮反向走线，利用新线从零切割位置开始切割硅块；新线切割结束后，使硅块持续向下移动，利用来自于收线轮上的旧线在放线轮和收线轮之间往复走线，对硅块继续进行切割；在硅块剩余未切割部分的高度为h时，采用单向走线方式切割剩余硅块，直至金刚线切透所述硅块，其中h为1mm‑5mm。
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