[发明专利]化学稳健的微型气体传感器在审
| 申请号： | 201810801155.3 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN109283227A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 闫淼磊;R·M·瑞贝罗 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明题为“化学稳健的微型气体传感器”。本发明提供了一种微型气体感测设备，所述微型气体感测设备包括嵌有多个第一加热元件的基于硅的基板。多个电极设置在所述基于硅的基板上。气体感测层覆盖所述电极。多孔或中孔吸附剂层选择性地过滤气体混合物中除目标气体之外的组分，并且允许所述目标气体到达所述气体感测层。所述第一加热元件可操作以周期性地再生至少所述气体感测层的感测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 气体感测层 微型气体传感器 感测设备 加热元件 目标气体 微型气体 基板 气体混合物 中孔吸附剂 电极设置 电极 可操作 感测 嵌有 过滤 再生 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种微型气体感测设备，所述设备包括：基于硅的基板，所述基于硅的基板嵌有多个第一加热元件；多个电极，所述多个电极设置在所述基于硅的基板上；气体感测层，所述气体感测层覆盖所述多个电极；以及吸附剂层，所述吸附剂层被配置为选择性地过滤气体混合物中除目标气体之外的组分，并且允许所述目标气体到达所述气体感测层，其中所述第一加热元件可操作以周期性地再生至少所述气体感测层的感测能力。
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