[发明专利]一种通孔隔离法酸性电镀铜工艺及其装置有效
| 申请号： | 201810799584.1 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109056002B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 叶旖婷 | 申请（专利权）人： | 叶旖婷 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D17/00;C25D21/18;C25D21/10 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 刘小敏 |
| 地址： | 中国澳门上海街1*** | 国省代码： | 澳门;82 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通孔隔离法酸性电镀铜工艺，包含以下步骤：（1）使用带通孔的间隔物将电镀槽分隔为阳极区和阴极区，并在阳极区中设置电镀液搅拌装置；（2）分别配制阳极电镀液和阴极电镀液将阳极电镀液和阴极电镀液分别倒入阳极区和阴极区中，并在阳极区中加入金属铜和/或铜氧化物；（3）将不溶性阳极作为电镀阳极与电源正极相连接并浸入阳极区中的阳极电镀液中，将阴极镀件与电源负极相连接并浸入阴极区中的阴极电镀液中；接通电源，并开启阳极区中的电镀液搅拌装置，进行电镀。所述工艺能解决现有不溶性阳极的酸性电镀铜工艺中存在的问题，不但并能提高电镀质量，节省电镀生产成本，而且还绿色环保。本发明还公开了一种适用于通孔隔离法酸性电镀铜工艺的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隔离法 酸性 镀铜 工艺 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种通孔隔离法酸性电镀铜工艺，其特征在于，包括以下步骤：（1）使用带通孔的间隔物将电镀槽分隔为阳极区和阴极区，并在阳极区中设置电镀液搅拌装置；（2）分别配制阳极电镀液和阴极电镀液，所述阳极电镀液和阴极电镀液包含硫酸和/或硫酸铜，将阳极电镀液和阴极电镀液分别倒入阳极区和阴极区中，并在阳极区中加入金属铜和/或铜氧化物；（3）将不溶性阳极作为电镀阳极与电源正极相连接并浸入阳极区中的阳极电镀液中，将阴极镀件与电源负极相连接并浸入阴极区中的阴极电镀液中；接通电源，并开启阳极区中的电镀液搅拌装置，进行电镀，电镀过程中阳极区会发生金属铜与氧气的反应以及铜氧化物与硫酸的反应，使得电镀液中的铜离子得到补充。
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