[发明专利]一种分光装置有效
| 申请号： | 201810798488.5 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN110737098B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 徐建旭;兰艳平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/14 | 分类号： | G02B27/14 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分光装置，该分光装置包括：沿光束传播方向依次设置的第一楔形分光镜和第二楔形分光镜；其中，入射光经过所述第一楔形分光镜后产生第一透射光；所述第一透射光经过所述第二楔形分光镜后形成与所述入射光平行的第二透射光。本发明实施例提供的分光装置，可以将不同表面的反射光分离，得到相互不干扰的反射光，在分光的同时不改变光束的形貌和尺寸，且透射光沿着与入射光相同的方向传播。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种分光装置，其特征在于，包括：/n沿光束传播方向依次设置的第一楔形分光镜和第二楔形分光镜；/n其中，入射光经过所述第一楔形分光镜后产生第一透射光；所述第一透射光经过所述第二楔形分光镜后形成与所述入射光平行的第二透射光。/n
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