[发明专利]一种双极板电容角位移传感器

摘要

本发明公开了一种双极板电容角位移传感器，由上极板和下极板组成，下极板中半径为r的圆周上等间距的排列设置有N个电极，单个电极对应角位移为α₂，相邻两电极之间的夹角为α₁＝2π/N，电极的径向长度为l₁，下极板上所有电极连接至第一电气端子G；上极板中半径为r的圆周上设置有第一电极、第二电极和第三电极，第一电极、第二电极和第三电极每个电极对应的角位移为α₂，第一电极与第二电极之间的夹角为α₃、第二电极与第三电极之间的夹角为α₄，α₃＝α₄＝3α₁/4，第一电极、第二电极和第三电极的径向长度为l₂，该传感器通过合理调整极板间距产生三路相位差固定且与角位移呈正弦关系的输出，并能够利用它们快速、准确地解算出角位移。

主权项

1.一种双极板电容角位移传感器，其特征在于，由上极板和下极板组成，所述下极板中半径为r的圆周上等间距的排列设置有N个电极，单个电极对应角位移为α₂，相邻两电极之间的夹角为α₁＝2π/N，电极的径向长度为l₁，下极板上所有电极连接至第一电气端子G；所述上极板中半径为r的圆周上设置有第一电极、第二电极和第三电极，第一电极、第二电极和第三电极每个电极对应的角位移为α₂，第一电极与第二电极之间的夹角为α₃、第二电极与第三电极之间的夹角为α₄，α₃＝α₄＝3α₁/4，第一电极、第二电极和第三电极的径向长度为l₂，第一电极连接至第二电气端子X，第二电极连接至第三电气端子Y，第三电极连接至第四电气端子Z；第二电气端子X和第一电气端子G构成输出电容C_XG的输出端子，第三电气端子Y和第一电气端子G构成输出电容C_YG的输出端子，第四电气端子Z和第一电气端子G构成输出电容C_ZG的输出端子；N为大于1的正整数。