[发明专利]金属表面纳米结构的制备方法及制备设备在审
| 申请号： | 201810796630.2 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN108671972A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 秦艳;何俊峰;王晖栋;刘航 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属表面纳米结构的制备方法，包括：将含有带电纳米颗粒的溶液引至金属工件表面，对金属工件和位于金属工件上方的电泳辅助电极通电，在金属工件和电泳辅助电极之间形成电场，使得纳米颗粒在电场力作用下吸附于金属工件表面；在真空环境或惰性气体氛围中，向金属工件表面预定区域进行激光光斑照射，对预定区域内的纳米颗粒进行激光烧结，使纳米颗粒和金属工件粘合连接，获得表面具有纳米结构的金属工件。本发明中无需采用化学制剂，操作方便安全，无污染；制得金属工件表面纳米结构厚度均匀，可用作大规模微纳结构制造及转印微流控芯片。本发明还提供了一种金属表面纳米结构的制备设备，具有上述有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 金属工件 纳米结构 金属工件表面 纳米颗粒 金属表面 电泳 辅助电极 预定区域 制备设备 制备 化学制剂 惰性气体氛围 电场力作用 微流控芯片 电场 厚度均匀 激光光斑 激光烧结 微纳结构 真空环境 粘合 带电 可用 吸附 转印 通电 照射 制造 安全 | ||
【主权项】：
1.一种金属表面纳米结构的制备方法，其特征在于，包括：将含有带电纳米颗粒的溶液引至金属工件表面；对所述金属工件和位于所述金属工件上方的电泳辅助电极通电，在所述金属工件和所述电泳辅助电极之间形成电场，使得所述纳米颗粒在电场力作用下吸附于所述金属工件表面；在真空环境或惰性气体氛围中，向所述金属工件表面预定区域进行激光光斑照射，对所述预定区域内的所述纳米颗粒进行激光烧结，使所述纳米颗粒和所述金属工件粘合连接，获得表面具有纳米结构的金属工件。
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