[发明专利]成像设备和成像方法有效
| 申请号： | 201810791488.2 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN109270070B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 石川明夫;小泽谦;金洸秀;S·朴;沼田光徳 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 赵南;张帆 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种成像装置和成像方法。该成像装置包括：照明光源，用于输出照明光；照明光学系统，用于将照明光朝向样品透射；成像光学系统，用于透射从样品反射的光；工作台，用于沿预定传送方向移动样品；以及拍摄单元，用于接收反射光。成像设备可以包括位于样品的共轭焦平面处的一个或多个衍射光栅。拍摄单元的操作可以与工作台对样品的移动同步，以根据时间延迟集成方法获得图像。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种成像设备，包括：工作台，其将样品定位在物平面中，并将所述样品沿预定的传送方向移动；照明光源，其输出照明光；第一衍射光栅，其位于照明光学系统内的第一共轭焦平面处，所述第一衍射光栅配置为将从所述照明光源接收的照明光朝向所述工作台上的样品透射；第二衍射光栅，其位于成像光学系统内的第二共轭焦平面处，所述第二衍射光栅配置为透射从所述样品反射的光；以及图像传感器，其用于接收由所述第二衍射光栅透射的从所述样品反射的光，其中，所述第一共轭焦平面、所述第二共轭焦平面和所述物平面是所述成像设备的同一组共轭的焦平面中的组成部分，并且其中，所述图像传感器配置为以与所述工作台的移动同步的时序重复操作，以获得时间延迟集成图像。
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