[发明专利]一种微悬臂梁阵列光学读出成像系统和方法有效
申请号: | 201810731578.2 | 申请日: | 2018-07-05 |
公开(公告)号: | CN108801468B | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 龚诚;俞挺 | 申请(专利权)人: | 南开大学 |
主分类号: | G01J5/00 | 分类号: | G01J5/00 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 王戈 |
地址: | 300000*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种微悬臂梁阵列光学读出成像系统和方法。该系统包括:可见光光源,用于发出可见光;平面反射镜,设置在所述可见光光源的出射光路上,用于所述可见光进行反射,得到第一反射光;微悬臂梁阵列,设置在所述平面反射镜的反射光路上,用于对所述反射光进行反射,得到第二反射光;小孔阵列,设置在所述微悬臂梁阵列的反射光路上,用于对所述第二反射光进行透射,得到透射光;CCD图像探测器,设置在所述小孔阵列的透射光路上,用于根据所述透射光进行成像。本发明用小孔阵列来代替光学读出透镜组实现光学读出,减小了系统体积,降低了成本,且安装调试简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 悬臂梁 阵列 光学 读出 成像 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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