[发明专利]基于激光尺非定轴检测方法的XYΘ微定位平台设计有效
| 申请号： | 201810725557.X | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108922577B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏;钱佳卫;鲁帅帅 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 赵敏玲 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光尺非定轴检测方法的XYθ微定位平台，包括：基体，基体为正方体结构，在所述基体内部面向四个侧面的方向上各自设有两个对称设置的横向复合平行板簧机构；在两个横向复合平行板簧机构的对称中心处连接一个音圈电机，音圈电机的动子与两个横向复合平行板簧机构的对称中心处相连，音圈电机的静子固定在基座上；四个音圈电机的轴线互成90度；在基体内部还设有四个纵向复合平行板簧机构，一个纵向复合平行板簧机构对应一副横向复合平行板簧机构且与横向复合平行板簧机构相连；四个纵向复合平行板簧机构的交汇处为平台运动中心，平台运动中心的上方通过连接件安装平台运动部分；在所述的平台运动部分还设有位移检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 尺非定轴 检测 方法 xy 定位 平台 设计 | ||
【主权项】：
1.基于激光尺非定轴检测方法的XYΘ微定位平台，其特征在于，包括：基体、横向复合平行板簧机构、纵向复合平行板簧机构、平台运动部分、音圈电机、音圈电机基座和位移检测装置；所述的基体为正方体结构，在所述基体内部面向四个侧面的方向上各自设有两个对称设置的横向复合平行板簧机构；在两个横向复合平行板簧机构的对称中心处连接一个音圈电机，音圈电机的动子与两个横向复合平行板簧机构的对称中心处相连，音圈电机的静子固定在基座上，所述的基座位于基体的底部；四个音圈电机的轴线互成90度；在基体内部还设有四个纵向复合平行板簧机构，一个纵向复合平行板簧机构对应一副横向复合平行板簧机构且与横向复合平行板簧机构相连；四个纵向复合平行板簧机构的交汇处为平台运动中心，该中心与基体的中心重合，平台运动中心的上方通过连接件安装平台运动部分；在所述的平台运动部分还设有位移检测装置。
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