[发明专利]一种WSx

摘要

本发明涉及材料摩擦磨损与固体润滑技术领域，尤其涉及一种WSx/Me/a‑C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法，所述固体润滑膜包括基体(1)，金属过渡层(2)和纳米多层膜(3)，所述纳米多层膜为由若干纳米复合单元组成的层状结构，所述纳米复合单元包括WSx层(4)，金属层(5)，非晶态碳膜层(6)和金属亚层(7)，所述金属层和金属亚层的材料相同或不同。本发明的固体润滑膜具有优异的抗氧化性能，摩擦因数较低，承载能力及耐磨性优良，与基体结合状态较好，使用寿命长；制备工艺简单，沉积过程易控制，成本低且制备过程安全无污染；能够应用于机械领域零部件表面的润滑防护膜，具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种WSx/Me/a‑C/Me纳米多层结构固体润滑膜，其特征在于，包括基体(1)，金属过渡层(2)和纳米多层膜(3)，所述纳米多层膜为由若干纳米复合单元组成的层状结构，所述纳米复合单元包括WSx层(4)，金属层(5)，非晶态碳膜层(6)和金属亚层(7)，所述金属层和金属亚层的材料相同或不同。