[发明专利]一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法

摘要

本发明提供一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法，所述检测装置包括：承载台；用于夹持待检测产品，以对待检测产品进行对位的对位夹具；用于将待检测产品吸附固定于承载台上的吸附单元；驱动单元，能够在与承载台的承载面垂直的竖直方向上，驱动对位夹具进行升降运动，在与承载台的承载面平行的水平方向上，驱动对位夹具平移至第一对位位置和第二对位位置；以及，控制单元，与驱动单元连接，用于控制驱动单元的工作状态，使驱动单元驱动对位夹具处于第一对位位置或第二对位位置，以使得待检测产品能够在水平方向上进行二次对位。本发明能够解决现有技术中彩膜修复设备存在修复盲区的问题，可实现提升对待检测产品的良率。

主权项

1.一种检测装置，包括：用于承放待检测产品的承载台；用于夹持所述待检测产品，以对所述待检测产品进行对位的对位夹具；用于将所述待检测产品吸附固定于所述承载台上的吸附单元；其特征在于，所述检测装置还包括：用于驱动所述对位夹具移动的驱动单元，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面垂直的竖直方向上，驱动所述对位夹具进行升降运动，并且，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面平行的水平方向上，驱动所述对位夹具平移至第一对位位置和第二对位位置；以及，控制单元，与所述驱动单元连接，用于控制所述驱动单元的工作状态，使所述驱动单元驱动所述对位夹具处于所述第一对位位置或所述第二对位位置，以使得所述待检测产品能够在所述水平方向上进行二次对位。