[发明专利]一种显影系统在审
| 申请号： | 201810689035.9 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN108828909A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 裴立志;郑泽钢;施威健;时庆文;周伟杰 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 516600 广东省汕尾*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影系统，所述显影系统包括：显影液存储装置、PH值调节溶液存储装置、控制装置、第一检测器及第二检测器；其中，所述第一检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的PH值；所述第二检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的透过率；所述控制装置用于当所述PH值低于第一预设值时，控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液；所述控制装置还用于当所述透过率低于第二预设值时，使所述显影系统停止运行。该显影系统可以实时对显影液的质量进行检测，提高显影质量。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 存储装置 显影系统 控制装置 第二检测器 第一检测器 透过率 预设 检测 停止运行 填充 显影 | ||
【主权项】：
1.一种显影系统，其特征在于，所述显影系统包括：显影液存储装置、PH值调节溶液存储装置、控制装置、第一检测器及第二检测器；其中，所述第一检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的PH值；所述第二检测器用于检测所述显影液存储装置中显影液的透过率；所述控制装置用于当所述PH值低于第一预设值时，控制所述PH值调节溶液存储装置向所述显影液存储装置中填充PH值调节溶液；所述控制装置还用于当所述透过率低于第二预设值时，使所述显影系统停止运行。
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