[发明专利]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201810660799.5 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN108551646B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波;董永伟 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 11442 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括衬底以及通过间隔部支撑在衬底上方的振膜，所述衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与衬底之间的距离；在所述衬底上设置有与振膜构成电容器结构的下电极，在所述衬底上设置有为振膜与下电极之间提供电场的驻极体层。本发明的麦克风，可通过驻极体层来提供电场；另外真空腔可以降低声阻对振膜振动的影响，提高麦克风的信噪比；另外，由于该结构的MEMS麦克风不需要较大容积的背腔，因此可以大大降低MEMS麦克风的整体尺寸，增强了麦克风的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 振膜 麦克风 电场 驻极体层 间隔部 下电极 真空腔 电容器结构 大气压力 偏转距离 振膜振动 信噪比 背腔 声阻 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括衬底以及通过间隔部支撑在衬底上方的振膜，所述衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与衬底之间的距离；/n在所述衬底上设置有与振膜构成电容器结构的下电极，在所述衬底上设置有为振膜与下电极之间提供电场的驻极体层；/n所述真空腔内的压力小于1kPa，所述振膜的机械灵敏度为0.02至0.9nm/Pa，所述振膜和衬底之间的初始间隙为1-100μm。/n
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