[发明专利]一种集成激光剥离和激光切割的设备系统及其操作方法

摘要

本发明提供一种集成激光剥离和激光切割的设备系统，包括准分子激光器、传送台、组合反射衰减机构及剥离切割台。准分子激光器输出UV光，传送台将UV固化前后及切割剥离后的柔性面板分别传送至第一、第二及第三预置位置上进行UV固化、剥离切割及分拣，组合反射衰减机构将准分子激光器的UV光进行能量衰减反射至剥离切割台上，剥离切割台先对传送台上的UV固化后的柔性面板进行剥离，接着接收组合反射衰减机构输出的UV光对完成剥离后的柔性面板进行切割，最后将切割后的柔性面板重置在传送台并通过传送台完成分拣。实施本发明，能同时实现激光剥离和激光切割工艺，不仅提高了准分子激光器的使用效率，还节省了投资成本和工艺时间。

主权项

1.一种集成激光剥离和激光切割的设备系统，其特征在于，包括：准分子激光器、传送台、组合反射衰减机构以及剥离切割台；其中，所述准分子激光器，用于输出UV光；所述传送台，用于容纳并利用一定吸附力来固定倒置的物体，且进一步将倒置的物体传送至相应的预置位置上进行对应的工艺处理；其中，所述倒置的物体为未UV固化的柔性面板、UV固化后的柔性面板或已剥离及切割后的柔性面板；所述未UV固化的柔性面板被传送至第一预置位置上进行UV固化；所述UV固化后的柔性面板被传送至第二预置位置上进行剥离及切割；所述已剥离及切割后的柔性面板被传送至第三预置位置上进行分拣；所述组合反射衰减机构，用于移动对焦所述准分子激光器并对所述准分子激光器输出的UV光进行反射及能量衰减后，输出至所述剥离切割台上预定的范围；所述剥离切割台，用于在所述传送台到达第二预置位置后，利用吸附力的相互作用对所述传送台上的UV固化后的柔性面板进行剥离，将所述UV固化后的柔性面板上的玻璃基板吸附起来并丢弃，且进一步从所述传送台上重新吸附起已完成剥离后的柔性面板并待所述传送台离开第二预置位置后，接收所述组合反射衰减机构输出的UV光对已完成剥离工艺后的柔性面板的照射及后续切割的实施，以及将已完成剥离及切割后的柔性面板重置在所述传送台上并经所述传送台送至第三预置位置进行分拣。