[发明专利]抛光装置和抛光方法在审

专利信息
申请号: 201810653280.4 申请日: 2018-06-22
公开(公告)号: CN108857588A 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 张晓强;孙元成;杜秀蓉;宋学富;王慧;钟利强;花宁 申请(专利权)人: 中国建筑材料科学研究总院有限公司
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B49/12;B24B55/00;B24B41/02
代理公司: 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 代理人: 王伟锋;刘铁生
地址: 100024*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种抛光装置和抛光方法,涉及抛光技术领域。本发明实施例提出了一种抛光装置,包括:舱体,所述舱体内设有由隔离板分隔而成的第一腔体和第二腔体,所述隔离板用于使所述第一腔体和所述第二腔体之间连通或隔离,所述第一腔体内设有用于检测待抛元件形貌特征的检测设备,所述第二腔体内设有用于对待抛元件抛光的抛光设备。本发明主要是用于提高待抛元件的加工效率。
搜索关键词: 抛光装置 抛光 第二腔体 第一腔体 体内 隔离板 抛光技术领域 加工效率 检测设备 抛光设备 形貌特征 舱体 分隔 连通 隔离 检测
【主权项】:
1.一种抛光装置,其特征在于,包括:舱体,所述舱体内设有由隔离板分隔而成的第一腔体和第二腔体,所述隔离板用于使所述第一腔体和所述第二腔体之间连通或隔离,所述第一腔体内设有检测待抛元件形貌特征的检测设备,所述第二腔体内设有对待抛元件抛光的抛光设备。
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