[发明专利]Bosch工艺的工艺参数的监控方法、系统和存储介质有效
| 申请号： | 201810650378.4 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN110627015B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 牧净艳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Bosch工艺的工艺参数的监控方法、系统和存储介质。包括：获取父配方信息中包括的若干子配方以及每个子配方的循环次数；每个子配方均执行下述步骤：S110、设定当前子配方的各工艺步骤的采样点；S120、分别获取相同工艺步骤在不同循环次数时，执行到采样点时的变化量参数实际值；S130、将各变化量参数实际值与对应的工艺步骤的变化量参数设定值进行容差比较，以得出各采样点的合法性；S140、根据各采样点的合法性判断是否需要输出容差报警。可以有效监控工艺过程中的变化量参数的变化情况，从而可以根据变化量参数的变化情况对当前工艺过程进行调整，进而可以避免废片现象发生，提高晶片的生产良率，降低晶片的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | bosch 工艺 参数 监控 方法 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种Bosch工艺的工艺参数的监控方法，其特征在于，包括：/n获取父配方信息中包括的若干个子配方以及每个所述子配方所设定的循环次数，其中，每个所述子配方均包括若干个工艺步骤；/n每个所述子配方均依次执行下述步骤：/n步骤S110、设定当前子配方的各工艺步骤的采样点；/n步骤S120、分别获取相同工艺步骤在不同循环次数时，执行到所述采样点时的变化量参数实际值；/n步骤S130、将获取到的所述相同工艺步骤在不同循环次数时的各变化量参数实际值与对应的工艺步骤的变化量参数设定值进行容差比较，以得出各所述采样点的合法性；/n步骤S140、根据各所述采样点的合法性判断是否需要输出容差报警。/n
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