[发明专利]天线及等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201810642400.0 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN109121276B | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 河田祐纪;小山纮司 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 安香子 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种天线及等离子体处理装置。本发明的天线具备电介质窗及设置于电介质窗的一个面的缝隙板，该天线中，将缝隙板上各缝隙(S)的宽度方向的中央位置并且长度方向的中央位置作为基准位置(g)时，各缝隙(S)的基准位置(g)位于以重心(G0)为中心的虚拟圆上，连结各缝隙(S)的基准位置(g)与这些缝隙所属的虚拟点(G1)的线段从虚拟点(G1)以放射状存在，且相邻的这些线段之间的角度(β1～β4)相等，并且，基准位置(g)上的各缝隙(S)的长度方向与该缝隙(S)所属的上述线段所成的角度(θ1～θ4)相等。 | ||
| 搜索关键词： | 天线 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种天线，其具备电介质窗及设置于所述电介质窗的一个面的缝隙板，该天线的特征在于，所述缝隙板上，在包围所述缝隙板的中央的虚拟圆上设定多个虚拟点，并设定包围各虚拟点的周围的虚拟环状线，将沿各虚拟环状线配置4个以上的缝隙而成的集合作为缝隙组时，在各缝隙组中，将各缝隙的宽度方向的中央位置并且长度方向的中央位置作为基准位置时，各缝隙的所述基准位置位于所述虚拟环状线上，连结各缝隙的所述基准位置与这些缝隙所属的所述虚拟点的线段从所述虚拟点以放射状存在，且相邻的这些线段之间的角度相等，并且，所述基准位置上的各缝隙的长度方向与该缝隙所属的所述线段所成的角度相等。
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