[发明专利]微波装置

摘要

一种微波装置，包括一第一基板、一第一金属层、一第二基板、一第二金属层、一密封壁、一调制材料、以及至少一填充材。第一基板具有一第一表面。第一金属层设置于第一表面上，且第一金属层包含多个开口。第二基板具有一第二表面，且与第一基板对应设置。第二金属层设置于第二表面上，第二金属层包含多个电极，电极对应开口设置。密封壁位于第一基板以及第二基板之间。密封壁、第一基板与第二基板之间形成一有源区。调制材料填充于有源区内。至少一填充材设置于有源区内。填充材的厚度大于0.3微米且小于密封壁的高度。

主权项

1.一种微波装置，其特征在于，包括：一第一基板，具有一第一表面；一第一金属层，该第一金属层设置于该第一表面上，且该第一金属层包含多个开口；一第二基板，具有一第二表面，且与该第一基板对应设置，其中该第二表面邻近该第一表面；一第二金属层，该第二金属层设置于该第二表面上，该第二金属层包含多个电极，该多个电极对应该多个开口设置；一密封壁，位于该第一基板以及该第二基板之间，且该密封壁、该第一基板与该第二基板之间形成一有源区；以及一调制材料，填充于该有源区内；以及至少一填充材，设置于该有源区内，其中，该填充材的厚度大于0.3微米且小于该密封壁的高度，且该填充材于该第一表面的投影面积与该有源区于该第一表面的投影面积的比值介于0.02到0.83之间。