[发明专利]一种超高温氦检漏装置

摘要

本发明公开了一种超高温氦检漏装置，包括箱体、移动轨道和物料小车。其中物料小车的门板和工件托架采用活动连接，当工件托架进入箱体后可与门板脱开，使门板浮动固定于箱体门框处，避免了工件托架受热变形后对门板的影响，保证门板能够在极限真空度为5×10‑4Pa、温度高于500℃的超高温条件下仍对箱体进行可靠密封，从而实现正常检漏。同时，箱体由保温箱和真空箱套设而成，真空箱处设有与其连通的箱内冷却机构，两箱之间还设有可与外部连通的温控夹层，通过分区加热精确调控升温，通过箱外冷却和箱内冷却的共同作用，加速降温进程，从而匹配工件生产节拍。

主权项

1.一种超高温氦检漏装置，其特征在于，包括箱体（1）、移动轨道（2）和物料小车（3），移动轨道（2）设置于箱体（1）敞口前方，物料小车（3）通过驱动机构（5）的带动沿移动轨道（2）滑动；箱体（1）包括真空箱（11）和罩设于真空箱（11）外侧的保温箱（12），真空箱（11）处连通设有箱内冷却机构（8），真空箱（11）和保温箱（12）间设有温控夹层（13），温控夹层（13）内设有若干加热带（131），保温箱（12）顶部设有分别与温控夹层（13）相连通的进气关断阀（121）和排气关断阀（122）；物料小车（3）包括活动相连的门板（31）和工作托架（32），门板（31）通过悬挂铰接机构（4）与驱动机构（5）连接，工作托架（32）沿真空箱（11）内设置的移动导轨（110）移动。