[发明专利]一种环保型硅片清洗剂及制备方法在审

专利信息
申请号: 201810613316.6 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN108531297A 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 张启力 申请(专利权)人: 富地润滑科技股份有限公司
主分类号: C11D1/00 分类号: C11D1/00;C11D3/37;C11D3/34;C11D3/22;C11D3/20;C11D3/16;C11D3/04;C11D3/48;C11D3/60
代理公司: 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 代理人: 韩洪
地址: 314300 浙江省嘉兴市海盐县于城镇*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种环保型硅片清洗剂及制备方法,环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成:水0‑99.9份、碱0.1‑100份、表面活性剂0‑10份、防锈剂0‑10份、螯合剂0‑10份、分散剂0‑10份、杀菌剂0‑5份和消泡剂0‑5份,所述份数为重量份数。环保型硅片清洗剂的制备方法是①将水和碱加入混合釜中,搅拌30‑60分钟,得到均匀透明溶液;②将防锈剂加入混合釜中,搅拌30‑60分钟,得到均匀透明溶液;③将表面活性剂、分散剂、杀菌剂和消泡剂加入混合釜中,混合搅拌30‑60分钟,得到均匀透明溶液。整体清洗性能优异,使用成本低,不含磷,不含氮,不含苯酚类,不含亚硝酸盐,重金属等有毒有害原料,保证工人身体不受损害,保证环境免受破坏。
搜索关键词: 硅片清洗剂 环保型 透明溶液 混合釜 制备 表面活性剂 防锈剂 分散剂 杀菌剂 消泡剂 工人身体 亚硝酸盐 整体清洗 重量份数 组分配制 苯酚类 螯合剂 重金属 保证 损害
【主权项】:
1.一种环保型硅片清洗剂,其特征在于:所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成:水0‑99.9份、碱0.1‑100份、表面活性剂0‑10份、防锈剂0‑10份、螯合剂0‑10份、分散剂0‑10份、杀菌剂0‑5份和消泡剂0‑5份,所述份数为重量份数。
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