[发明专利]一种透明介质的表面划痕成像检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种透明介质的表面划痕成像检测装置及其检测方法，检测装置包括平行光源模块、第一傅里叶透镜、空间滤波模块、成像镜头、探测器模块以及数据处理模块；所述平行光源模块输出平行光束，平行光束先后通过被测样品以及第一傅里叶透镜形成汇聚光束，汇聚光束先后通过空间滤波模块以及成像镜头到达探测器模块，所述空间滤波模块置于第一傅里叶透镜的焦平面上，所述探测器模块输出端与数据处理模块输入端通信连接。本发明通过空间滤波模块，去除采集图像的背景光强干扰，做到对透明介质的表面划痕单独成像，划痕检测精度高，同时由于是对透明介质的表面划痕单独成像分析，数据处理量低，有效提高检测精度。本发明用于检测透明介质的表面划痕。

主权项

1.一种透明介质的表面划痕成像检测装置，其特征在于，包括平行光源模块(1)、第一傅里叶透镜(2)、空间滤波模块(3)、成像镜头(4)、探测器模块(5)以及数据处理模块(6)；所述平行光源模块(1)输出平行光束，平行光束先后通过被测样品以及第一傅里叶透镜(2)形成汇聚光束，汇聚光束先后通过空间滤波模块(3)以及成像镜头(4)到达探测器模块(5)，所述空间滤波模块(3)置于第一傅里叶透镜(2)的焦平面上，所述成像镜头(4)安装在探测器模块(5)上，所述探测器模块(5)输出端与数据处理模块(6)输入端通信连接。