[发明专利]探针卡有效
| 申请号： | 201810604560.6 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN108845166B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 赵朝珍;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探针卡，所述探针卡包括：基板、多个镶嵌在所述基板内并能够在所述基板内滑动的探针模块以及安装在所述探针模块上的多个探针，所述探针模块的滑动能使得所述探针所在的位置发生变化。在本发明提供的探针卡中，多个所述探针安装在一个探针模块上，再在基板上安装多个探针模块，探针模块可以滑动，滑动探针模块可以使此探针模块上的探针所在的位置发生变化进，即滑动探针模块可以将原来接触到晶圆测试点的探针变为没有接触到晶圆测试点，因此，相对于现有技术，本发明的探针卡可以使用多种不同类型的晶圆测试。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包括：基板、多个镶嵌在所述基板内并能够在所述基板内滑动的探针模块以及安装在所述探针模块上的多个探针，所述探针模块的滑动能使得所述探针所在的位置发生变化。
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