[发明专利]喷涂系统在审
| 申请号： | 201810560629.X | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108504982A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 黄小军;顾宗慧;周钧;庄猛;诸斌;程银兵 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/134 | 分类号： | C23C4/134;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷涂系统，包括：密封舱体；喷枪，设置在密封舱体上，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，自动化控制系统包括气体检测装置，设置在密封舱体上，用于实时检测密封舱体内部的气体含量。上述喷涂系统设有自动化控制系统，能够对工件喷涂过程中的状态进行精确地控制，集成化程度较高，能够通过以太网实现自动化控制，保证喷涂系统的稳定运行。自动化控制系统中设有气体检测装置，能够实时检测密封舱体内部的气体含量，解决靶材旋转喷涂过程中气体含量无法控制的问题，确保溅射镀膜过程中的工件稳定性和一致性，使得工件内气体含量符合生产要求，以得到喷涂质量高的溅射镀膜靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 自动化控制系统 喷涂系统 密封舱体 气体检测装置 工件喷涂 实时检测 密封舱 体内部 喷涂 溅射镀膜靶材 工件稳定性 自动化控制 溅射镀膜 生产要求 稳定运行 旋转喷涂 集成化 以太网 靶材 喷枪 保证 | ||
【主权项】：
1.一种喷涂系统，其特征在于，包括：密封舱体；喷枪，设置在所述密封舱体上，所述喷枪具有朝向所述密封舱体内部的枪头，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，所述自动化控制系统包括气体检测装置，设置在所述密封舱体上，用于实时检测所述密封舱体内部的气体含量。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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