[发明专利]准分子激光器及其激光窗口元件更换方法在审
| 申请号： | 201810557704.7 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108847568A | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 黄晓波 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/034 | 分类号： | H01S3/034 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种准分子激光器，其特征在于包括︰一激光管，其内形成有一腔室，在所述腔室内填充有一激光气体；两气阀，设置在所述激光管的腔室内并且分别邻近所述激光管的两端部，所述两气阀将腔室区隔为一主气室及两缓冲气室，所述主气室介于所述两气阀之间，各缓冲气室介于对应的各所述气阀及所述激光管各所述端部之间，其中，所述两气阀开启时所述主气室与两缓冲气室相连通，所述两气阀关闭时所述主气室与所述两缓冲气室相隔绝；以及两激光窗口元件，分别设置在所述激光管的所述两端部上并且分别位于所述两缓冲气室的外侧。透过所述气阀可在更换激光窗口元件时保留大部分的激光气体，降低准分子激光器的保养及维修成本及时间。 | ||
| 搜索关键词： | 气阀 缓冲气室 激光管 主气室 准分子激光器 激光窗口 激光气体 两端部 室内 气阀关闭 维修成本 元件更换 腔室区 填充 保养 邻近 保留 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光器，其特征在于包括︰一激光管，其内形成有一腔室，在所述腔室内填充有一激光气体；两气阀，设置在所述激光管的腔室内并且分别邻近所述激光管的两端部，所述两气阀将腔室区隔为一主气室及两缓冲气室，所述主气室介于所述两气阀之间，各缓冲气室介于对应的各所述气阀及所述激光管各所述端部之间，其中，所述两气阀开启时所述主气室与两缓冲气室相连通，所述两气阀关闭时所述主气室与所述两缓冲气室相隔绝；以及两激光窗口元件，分别设置在所述激光管的所述两端部上并且分别位于所述两缓冲气室的外侧。
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