[发明专利]一种双层复合SiO2

摘要

本发明公开了一种双层复合SiO2减反射膜的制备方法，将硅源加入至无水乙醇、盐酸和水的混合液中，于室温下搅拌均匀后静置数天，得到酸催化的SiO2溶胶A；将硅源加入至无水乙醇、氨水和水的混合液中，于室温下搅拌均匀后静置数天，得到碱催化的SiO2溶胶B；将SiO2溶胶A和步骤2制得的SiO2溶胶B分别除酸和除氨，得到SiO2溶胶A1和SiO2溶胶B1；将SiO2溶胶A1和SiO2溶胶B按照质量比1∶4进行混合，将SiO2溶胶A和SiO2溶胶B1按照质量比2∶3进行混合，搅拌均匀后静置数天，分别得到复合溶胶S‑20％和S‑40％；在相对湿度环境＜50％的环境下，将经过预处理的基底浸入复合溶胶S‑40％中进行镀膜，将镀膜的基底静置数分钟，再将基底浸入复合溶胶S‑20％中进行镀膜；最后将镀有双层膜的基底置于HMDS气氛中处理即可。

主权项

1.一种双层复合SiO2减反射膜的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：步骤1，按一定摩尔比将硅源加入至无水乙醇、盐酸和水的混合液中，于室温下搅拌均匀后静置数天，得到酸催化的SiO2溶胶A；其中，所述SiO2溶胶A的质量百分浓度为3％；步骤2，按一定摩尔比将硅源加入至无水乙醇、氨水和水的混合液中，于室温下搅拌均匀后静置数天，得到碱催化的SiO2溶胶B；其中，所述SiO2溶胶B的质量百分浓度为3％；步骤3，取所需量步骤1制得的SiO2溶胶A除酸处理，得到SiO2溶胶A1；取所需量步骤2制得的SiO2溶胶B除氨处理，得到SiO2溶胶B1；步骤4，将SiO2溶胶A1和SiO2溶胶B按照质量比1∶4进行混合，将SiO2溶胶A和SiO2溶胶B1按照质量比2∶3进行混合，搅拌均匀后静置数天，分别得到复合溶胶S‑20％和复合溶胶S‑40％；步骤5，在相对湿度环境＜50％的环境下，将经过预处理的基底浸入步骤4的复合溶胶S‑40％中，采用浸渍提拉法在基底上镀膜，其中，提拉速度为80mm/min；提拉后将镀膜的基底静置数分钟，再将基底浸入步骤4的复合溶胶S‑20％中，采用40mm/min提拉速度进行镀膜；步骤6，将步骤5中镀有双层膜的基底置于HMDS气氛中处理一段时间后即可得到所需的双层复合SiO2减反射膜。