[发明专利]一种指向不变的波长宽调谐深紫外激光系统有效
| 申请号： | 201810509336.9 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110535021B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张申金;许凤良;宗楠;许祖彦;王志敏;杨峰;张丰丰;彭钦军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109;G02F1/37;G02F1/355 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及全固态深紫外激光领域，公开了一种指向不变的波长宽调谐深紫外激光系统，包括：基频激光源、紫外激光发射系统、深紫外激光发射系统、真空系统以及控制装置；紫外激光发射系统包括：第一倍频角度调节器以及设置在第一倍频角度调节器上的第一倍频器；深紫外激光发射系统包括：第二倍频角度调节器以及设置在第二倍频角度调节器上的第二倍频器。本发明提供的一种指向不变的波长宽调谐深紫外激光系统，能够保证不同波长的深紫外输出激光指向精准，具有重复调谐深紫外激光波长时，激光指向不变的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 指向 不变 波长 调谐 深紫 激光 系统 | ||
【主权项】：
1.一种指向不变的波长宽调谐深紫外激光系统，其特征在于，包括：基频激光源、紫外激光发射系统、深紫外激光发射系统、真空系统以及控制装置；/n所述紫外激光发射系统包括：紫外激光产生单元，所述紫外激光产生单元包括：第一倍频角度调节器以及设置在所述第一倍频角度调节器上的第一倍频器；/n所述深紫外激光发射系统包括：深紫外激光产生单元，所述深紫外激光产生单元包括：第二倍频角度调节器以及设置在所述第二倍频角度调节器上的第二倍频器；/n所述真空系统设有透过内腔的紫外激光输入窗口和深紫外激光输出窗口，所述深紫外激光发射系统设置在所述真空系统的内腔中；/n所述基频激光源发射基频光波至所述第一倍频器、并由所述第一倍频器接收转换为紫外光波；所述第一倍频器发射紫外光波，并通过紫外激光输入窗口进入所述真空系统内，由所述第二倍频器接收转换为深紫外光波，所述深紫外光波通过所述深紫外激光输出窗口输出；/n其中，所述第一倍频角度调节器和第二倍频角度调节器分别与所述控制装置电连接；所述控制装置控制所述第一倍频角度调节器转动、以使第一倍频器发射的紫外光波对准所述紫外激光输入窗口；所述控制装置控制所述第二倍频角度调节器转动、以使第二倍频器发射的深紫外光波对准所述深紫外激光输出窗口输出。/n
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