[发明专利]一种活塞环表面超厚类金刚石薄膜涂层制备方法有效
| 申请号： | 201810493053.X | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108359938B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李夏平 | 申请（专利权）人： | 南京飞燕活塞环股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 郑立发 |
| 地址： | 211200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种活塞环表面超厚类金刚石薄膜涂层制备方法，包括以下步骤：(1)活塞环脱脂喷砂，清洗，然后进行活塞环夹装，设置五组靶材；(2)装夹完成后，推入真空涂层设备中，密闭抽真空，然后加热；(3)加热完成后，依次启动第二组靶材的每个靶位进行刻蚀循环；然后再同时启动每个靶位进行刻蚀循环；(4)刻蚀完成后，启动第二组靶材进行铬涂层打底；(5)铬涂层打底完成后，依次启动第一、第五组靶材的每个靶位进行刻蚀循环；(6)上述刻蚀完成后，进行类金刚石薄膜涂层的沉积；(7)涂层结束后，降温，去真空，取出活塞环，即得。本发明方法能够制备超厚类金刚石薄膜涂层，进一步提升了活塞环的寿命，保障发动机的稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 活塞环 表面 超厚类 金刚石 薄膜 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种活塞环表面超厚类金刚石薄膜涂层制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)活塞环脱脂喷砂，清洗，然后进行活塞环夹装，设置五组靶材，其中第二组靶材安装铬靶，第一、第三、第四、第五组靶材安装碳靶；(2)装夹完成后，推入真空涂层设备中，密闭抽真空，然后加热；(3)加热完成后，依次启动第二组靶材的每个靶位，进行刻蚀，循环；然后再同时启动第二组靶材的每个靶位，进行刻蚀，冷却后再次启动，循环；(4)刻蚀完成后，启动第二组靶材进行铬涂层打底；(5)铬涂层打底完成后，依次启动第一、第五组靶材的每个靶位进行刻蚀，循环；(6)上述刻蚀完成后，进行类金刚石薄膜涂层的沉积，同时启动第一、第三组靶材进行涂层沉积，然后再同时启动第四、第五组靶材进行涂层沉积，如此交替循环；(7)涂层结束后，降温，去真空，取出活塞环，即得。
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