[发明专利]一种三维层析成像系统及方法有效
申请号: | 201810491101.1 | 申请日: | 2018-05-21 |
公开(公告)号: | CN108732124B | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 祁春超;潘子祥;谭信辉;杨正华 | 申请(专利权)人: | 深圳市重投华讯太赫兹科技有限公司;华讯方舟科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/3581 | 分类号: | G01N21/3581 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 李庆波 |
地址: | 518102 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种三维层析成像系统及方法,该系统包括:无衍射器件、偏光组件、扫描器件以及接收器;无衍射器件用于将入射的第一光束汇聚成第二光束,该第一光束是太赫兹光;偏光组件设置于无衍射器件的出光侧,用于将第二光束中预设偏振方向的光出射到扫描器件;扫描器件用于将该预设偏振方向的光以扫描方式反射到被检材料,并将被检材料反射的第三光束反射到偏光组件;偏光组件还用于改变第三光束的偏振方向,并将偏振方向改变后的第三光束反射到接收器;接收器设置于偏光组件的反射侧,用于接收偏光组件反射的第三光束,以根据第三光束的信息构建被检材料的三维图像。通过上述方式,本申请能够提高材料检测的速度和成像精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 层析 成像 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种三维层析成像系统,其特征在于,包括:无衍射器件、偏光组件、扫描器件以及接收器;所述无衍射器件用于将入射的第一光束汇聚成第二光束,所述第一光束是太赫兹光;所述偏光组件设置于所述无衍射器件的出光侧,用于将所述第二光束中预设偏振方向的光出射到所述扫描器件;所述扫描器件用于将所述预设偏振方向的光以扫描方式反射到被检材料,并将所述被检材料反射的第三光束反射到所述偏光组件;所述偏光组件还用于改变所述第三光束的偏振方向,并将偏振方向改变后的所述第三光束反射到所述接收器;所述接收器设置于所述偏光组件的反射侧,用于接收所述偏光组件反射的所述第三光束,以根据所述第三光束的信息构建所述被检材料的三维图像。
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