[发明专利]微型输送装置

摘要

一种微型输送装置，包括：堆叠设置的进气板、共振片、压电致动器及集气板，其中共振片与压电致动器之间具有腔室间距形成的第一腔室，精确控制腔室间距来确保第一腔室具有足够的空间，使压电致动器受驱动时，气体由进气板导入，经共振片进入第一腔室内，再继续传输，以形成压力梯度流道持续推出气体；并与一微型阀门装置组成一微型流体控制装置。微型阀门装置包括堆叠设置的阀门片以及出口板；当气体自微型流体控制装置传输至微型阀门装置内，因应气体的单向流动而使阀门片的阀孔进行开或关，俾进行集压或卸压。

主权项

1.一种微型输送装置，其特征在于，包括：/n一进气板，具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及一汇流腔室，该至少一进气孔导入气体，该至少一汇流排孔的一端连通该至少一进气孔，另一端与该汇流腔室连通，以引导由该至少一进气孔导入的气体汇流至该汇流腔室；/n一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该汇流腔室；/n一压电致动器，具有：/n一悬浮板，具有介于7.5mm至13mm之间的直径，以及具有一第一表面及一第二表面；/n一外框，环绕设置于该悬浮板的周边，且具有一组配表面及一外框底面；/n至少一支架，连接设置于该悬浮板与该外框之间，用以提供弹性支撑该悬浮板；以及/n一压电元件，贴附于该悬浮板的该第一表面；/n其中，该共振片堆叠于该压电致动器的该外框的该组配表面，该进气板堆叠于该共振片，使该压电致动器及该共振片依序对应堆叠设置，且该共振片与该压电致动器之间具有一腔室间距以形成一第一腔室，使该压电致动器受电压驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该汇流腔室，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。/n