[发明专利]一种带有金属衬底的微型集成波导分束器件及其加工制备方法有效
| 申请号： | 201810457229.6 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108535806B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 王宗鹏;陈基根;钟文武;林志萍;申士杰 | 申请（专利权）人： | 台州学院 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 318000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种带金属衬底的微型集成波导分束器，包含以下组件：纳米天线、波导层、耦合层及金属衬底。所述的纳米天线采用高折射率的纯电介质材料。所述的纳米天线尺寸与入射光波长同量级。所述的耦合层根据工作波长，满足FP共振条件。本发明还公开一种制备所述的带金属衬底的微型集成波导分束器的微纳米加工方法，包含以下步骤：硅片清洗、镀金膜、退火、镀SiO | ||
| 搜索关键词： | 金属衬 纳米天线 微型集成 波导 样品清洗 分束器 耦合层 制备 退火 电介质材料 离子束刻蚀 入射光波长 微纳米加工 分束器件 高折射率 工作波长 共振条件 硅片清洗 波导层 镀金膜 光刻 加工 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种制备带有金属衬底的微型集成波导分束器件的方法，该带有金属衬底的微型集成波导分束器件，从顶部到底部，依次包含以下组件：/n①高折射率介质纳米天线；所述的高折射率介质纳米天线由一对耦合在一起的折射率相同、尺寸不相同的高折射率介质纳米天线组成，两个纳米天线的尺寸及相互之间的距离，针对不同波长分别满足干涉相长或相消条件，是核心分束组件；所述的相长或相消条件的达成来自两方面的相位差：a. 由于天线尺寸不同，共振存在初始相位差；b. 相互之间由传播引起的光程相位差；/n②波导层；所述的波导为SOI光波导，波导材料为Si，绝缘体材料为SiO
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