[发明专利]一种液体循环系统和液体循环方法有效
| 申请号： | 201810444970.9 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN110469777B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王明 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14;F17D3/01;F17D5/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种液体循环系统和液体循环方法，开启液泵并使得控制阀处于关闭，以使得液箱内的液体通过第一管路流入液泵并从所述液泵通过第二管路流向一外部单元后通过第三管路流入液箱；监测元件监测所述第二管路的液体流量；控制阀根据所述监测元件的监测结果决定是否开启，所述控制阀开启时，液体从所述液泵通过第四管路流向所述液箱。在本发明提供的液体循环系统和液体循环方法中，根据监测元件的监测结果开启所述控制阀对所述液泵进行排气，这种排气方法操作方便且易于控制，并且排气时基本不会有液体泄漏的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液体 循环系统 循环 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体循环系统，其特征在于，所述液体循环系统包括：液箱、液泵、监测元件、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路和控制阀；/n所述液箱内的液体通过所述第一管路流入液泵，所述液泵用于将从所述液箱流出的液体加压并通过所述第二管路作用于一外部单元后通过所述第三管路流入所述液箱；/n所述监测元件设置在所述第二管路上，所述监测元件用于监测所述第二管路的液体流量；/n所述第四管路连接所述液箱和所述液泵或者所述第四管路连接所述液箱和所述第二管路，所述控制阀设置在所述第四管路上，所述控制阀根据所述监测元件的监测结果决定是否开启，所述控制阀开启时，液体通过所述第四管路流向所述液箱。/n
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