[发明专利]基于双轴柔性铰链的平行运动机构调整装置

摘要

本发明公开一种基于双轴柔性铰链的直线平行运动机构调整装置；该装置包括从动直线运动部件和从动导向机构，主动直线运动部件装配在主动导向机构上，在主动直线运动部件上通过固定螺钉固装二维调整模块，通过两根安装螺钉将连接座板装配在二维调整模块上，连接座板通过上、下调整定位螺母夹紧定位与从动直线运动部件连接，二维调整模块由偏转方向相互垂直的横向偏转倒角型铰链与纵向偏转倒角型铰链装配构成；本装置提高了曝光装置的稳定可靠性和运动机构的定位精度，及曝光窗口的扫描精度，使用范围光，结构合理、简单，使用可靠。

主权项

1.一种基于双轴柔性铰链的平行运动机构调整装置，包括从动直线运动部件(5)和从动导向机构(6)，所述从动直线运动部件(5)可移动的装配在从动导向机构(6)上，其特征在于：主动直线运动部件(9)可移动的装配在主动导向机构(10)上，主动直线运动部件(9)与主动导向机构(10)之间采用静压气浮支承和导向的方式，在所述主动直线运动部件(9)上通过固定螺钉(7)固装二维调整模块(8)；在连接座板(4)上设置两个长孔(13)，两根安装螺钉(1)分别插配在两个长孔(13)内，通过两根安装螺钉(1)将连接座板(4)装配在二维调整模块(8)上，连接座板(4)通过上调整定位螺母(2)与下调整定位螺母(3)的夹紧定位配合与从动直线运动部件(5)定位连接；所述二维调整模块(8)由横向偏转倒角型铰链(11)与纵向偏转倒角型铰链(12)装配构成，所述横向偏转倒角型铰链(11)的偏转方向与纵向偏转倒角型铰链(12)的偏转方向相互垂直。