[发明专利]一种高加速往复运动恒重力补偿装置有效
| 申请号： | 201810436997.3 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN108646519B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 吴剑威;张银;彬德尔;温众普;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高加速往复运动恒重力补偿装置；该装置的直线运动部件可沿垂向运动配装在导轨上，低摩擦气缸的活塞杆通过解耦单元与直线运动部件连接；该装置可为直线运动部件高加速往复运动提供恒定的重力补偿，具有运动顺畅、结构紧凑、体积小，用途广泛，适用能力强的特点，尤其适合光刻机曝光系统中小空间的高加速往复运动的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 直线运动部件 重力补偿装置 光刻机曝光系统 低摩擦气缸 垂向运动 解耦单元 重力补偿 恒定的 活塞杆 能力强 体积小 导轨 配装 | ||
【主权项】：
1.一种高加速往复运动恒重力补偿装置，包括直线运动部件(6)，其特征在于：在背板(11)上分别安装基座(15)、2个卡环(12)、2个调整座(13)和2个导轨底座(14)，通过基座(15)、2个卡环(12)、2个调整座(13)和2个导轨底座(14)依次分别将调压阀(10)、储气瓶(2)、低摩擦气缸(5)和导轨(4)安装在背板(11)上；所述直线运动部件(6)可做垂向运动的配装在导轨(4)上，直线运动部件(6)与导轨(4)之间采用静压气浮支承和导向的方式，低摩擦气缸(5)的活塞杆(8)通过解耦单元(7)与直线运动部件(6)连接，所述解耦单元(7)可对活塞杆(8)进行1个自由度调整；所述低摩擦气缸(5)通过2个调整座(13)可进行2个自由度调整，通过2个导轨底座(14)可对导轨(4)进行2个自由度调整，在调压阀(10)上配装进气总管(9)，气瓶进气管(1)将调压阀(10)与储气瓶(2)连通，气瓶排气管(3)的两端分别连接在储气瓶(2)和低摩擦气缸(5)上，将其连通。
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