[发明专利]靶材控制变形加工方法在审
| 申请号： | 201810421829.7 | 申请日： | 2018-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN108581058A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;韩军辉 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23D79/00 | 分类号： | B23D79/00;B23Q11/10;B23Q3/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 梁斌 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种靶材控制变形加工方法，通过根据待加工钛溅射靶材的粗铣面的加工规则信息控制第一目标盘刀在待加工钛溅射靶材的待加工面通过多次切削以进行粗加工直至得到的待加工钛溅射靶材的粗铣面的尺寸满足第一预设尺寸。再根据待加工钛溅射靶材的精铣面的加工规则信息控制第二目标盘刀在经过粗加工后的粗铣面上通过多次切削以进行精加工直至得到的待加工钛溅射靶材的精铣面的尺寸满足第二预设尺寸。通过上述过程，分别按照粗铣面的加工规则信息和精铣面的加工规则信息，并通过多次切削的方式进行加工，可确保加工后钛溅射靶材表面的粗糙度及尺寸满足工艺要求的同时，减小钛溅射靶材的振动量和变形程度，提高钛溅射靶材的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 溅射靶材 规则信息 粗铣 切削 精铣 控制变形 目标盘 靶材 预设 溅射靶材表面 待加工面 工艺要求 粗糙度 振动量 精加工 减小 变形 申请 | ||
【主权项】：
1.一种靶材控制变形加工方法，其特征在于，应用于加工设备，所述加工设备包括至少一个盘刀，所述方法包括：控制夹具夹持待加工钛溅射靶材；根据所述待加工钛溅射靶材的粗铣面的加工规则信息控制第一目标盘刀在所述待加工钛溅射靶材的待加工面通过多次切削以进行粗加工直至得到的所述待加工钛溅射靶材的粗铣面的尺寸满足第一预设尺寸；根据所述待加工钛溅射靶材的精铣面的加工规则信息控制第二目标盘刀在经过粗加工后的粗铣面上通过多次切削以进行精加工直至得到的所述待加工钛溅射靶材的精铣面的尺寸满足第二预设尺寸。
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