[发明专利]片上光学微腔传感器及应用其的光学微腔耦合波导传感装置

摘要

本发明公开了片上光学微腔传感器及光学微腔耦合波导传感装置，该片上光学微腔传感器包括U型波导及其内耦合的微腔，U型波导的两直臂与微腔分别耦合而形成两个耦合点，U型波导的两个耦合点间的波导为传感波导，该传感波导经由两个耦合点中的一个与U型波导的输入波导相连接、经由两个耦合点中的另一个与U型波导的输出波导相连接，并且，该传感波导作为第一干涉臂与待测传感对象相互作用，微腔的与传感波导邻近的半周部分作为第二干涉臂而不与待测传感对象相互作用，由此，在耗散型传感机制下，根据基于干涉臂的光干涉所引起的谐振模式消光比的变化来获得待测传感对象的相应参数，因而获得了消除探测极限受限、排除近场相互作用限制等技术效果。

主权项

1.一种片上光学微腔传感器，包括U型波导及其内耦合的微腔，其中，所述U型波导的两直臂与所述微腔分别耦合而形成两个耦合点，所述U型波导的所述两个耦合点之间的波导为传感波导，所述传感波导经由所述两个耦合点中的一个与所述U型波导的输入波导相连接、经由所述两个耦合点中的另一个与所述U型波导的输出波导相连接；所述传感波导作为第一干涉臂与待测传感对象相互作用，所述微腔的与所述传感波导邻近的半周部分作为第二干涉臂而不与所述待测传感对象相互作用，由此，在耗散型传感机制下，根据基于所述第一干涉臂和所述第二干涉臂的光干涉所引起的所述微腔的谐振模式消光比的变化来获得所述待测传感对象的相应参数。