[发明专利]一种可分步实现微纳米压印光刻的体系在审
| 申请号： | 201810411880.X | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN110441987A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 何勇;姚淼;聂俊 | 申请（专利权）人： | 北京化工大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种可分步实现微纳米压印光刻体系，该体系可以将压印与固化分开进行。具体是将一种或几种长链有机烯类小分子、双官能或三官能交联剂和光引发剂均匀混合。将液态混合体系涂覆于基材上并降温使之结晶，从液态转变为蜡状或膏状固态。将模具置于体系上，以一定力向下压，使体系形成图案，去除模具后，由于体系处于固体状态，图案仍能够保持。对体系进行紫外光照射，图案固化交联。此种反应体系可以进行低温固态光聚合，因此在图案化过程中可以实现，压制图案与体系固化分步进行，因此无需透明模具，拓展了模具的材料范围，并且解决了实际生产过程中，大尺寸模具制备困难的问题。另外，该体系在聚合过程中体积收缩减小，氧阻聚低，可制备较高尺寸精度的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 模具 压印光刻 微纳米 制备 固化 三官能交联剂 大尺寸模具 图案化过程 紫外光照射 低温固态 固化交联 固体状态 光引发剂 聚合过程 生产过程 体积收缩 透明模具 液态混合 液态转变 光聚合 双官能 向下压 小分子 有机烯 长链 膏状 基材 减小 蜡状 去除 涂覆 压印 阻聚 压制 拓展 | ||
【主权项】：
1.一种可分步实现微纳米压印光刻的体系，其特征在于：所述体系包括长链有机烯类小分子，多官能小分子交联剂和光引发剂。
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