[发明专利]一种存储与选通双功能器件及其制备方法有效
申请号: | 201810394883.7 | 申请日: | 2018-04-27 |
公开(公告)号: | CN108598257B | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 王浩;何玉立;陈傲;马国坤;陈钦 | 申请(专利权)人: | 湖北大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 刘奇 |
地址: | 430000 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了一种存储与选通双功能器件,从下至上依次包括底电极、转换层和顶电极,所述底电极为TiN或导电玻璃,所述转换层为铌的氧化物,所述顶电极为钨。本发明以铌的氧化物为转换层,以TiN或导电玻璃为底电极、金属钨为顶电极,构成了具有存储与选通双功能的器件。实验结果表明,本发明所提供的器件在大限流时具有选通性能,在小限流时具有阻变性能(即存储性能);同时在选通和阻变性能测试中,循环测试100圈,所得曲线的偏移程度很小,说明其还具有优异的稳定性;在阻变性能测试中,高阻态电阻阻值比上低阻态电阻阻值大于10,说明该器件还具有较大的存储窗口。 | ||
搜索关键词: | 一种 存储 选通双 功能 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种存储与选通双功能器件,从下至上依次包括底电极、转换层和顶电极,所述底电极为TiN或导电玻璃,所述转换层为铌的氧化物,所述顶电极为钨。
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