[发明专利]一种存储与选通双功能器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201810394883.7 申请日: 2018-04-27
公开(公告)号: CN108598257B 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 王浩;何玉立;陈傲;马国坤;陈钦 申请(专利权)人: 湖北大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 刘奇
地址: 430000 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供了一种存储与选通双功能器件,从下至上依次包括底电极、转换层和顶电极,所述底电极为TiN或导电玻璃,所述转换层为铌的氧化物,所述顶电极为钨。本发明以铌的氧化物为转换层,以TiN或导电玻璃为底电极、金属钨为顶电极,构成了具有存储与选通双功能的器件。实验结果表明,本发明所提供的器件在大限流时具有选通性能,在小限流时具有阻变性能(即存储性能);同时在选通和阻变性能测试中,循环测试100圈,所得曲线的偏移程度很小,说明其还具有优异的稳定性;在阻变性能测试中,高阻态电阻阻值比上低阻态电阻阻值大于10,说明该器件还具有较大的存储窗口。
搜索关键词: 一种 存储 选通双 功能 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种存储与选通双功能器件,从下至上依次包括底电极、转换层和顶电极,所述底电极为TiN或导电玻璃,所述转换层为铌的氧化物,所述顶电极为钨。
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