[发明专利]一种NO2传感器的制备方法在审
| 申请号： | 201810394570.1 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108956707A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 马峻;徐企娟 | 申请（专利权）人： | 苏州诺登德智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种NO2传感器的制备方法，包括以下步骤：步骤一、清洗玻璃衬底；步骤二、采用光刻的方法在玻璃衬底的上方中间处制作Ti/Au电极作为NO2传感器的栅极，在玻璃衬底的两侧均设有电极；步骤三、采用匀胶机在玻璃衬底上旋涂一层PMMA，旋涂时间为30s，转速为3000 r/min；随后对玻璃衬底进行烘烤，使PMMA中的溶剂挥发；步骤四、通过电子束曝光技术在PMMA上制备沟槽，沟槽底部为Ti/Au电极，沟槽两侧的PMMA用于支撑铜纳米线，使它悬空在栅极上方；步骤五、采用金片贴膜电极法在玻璃衬底上制作源漏电极和源极。本发明具有高灵敏度、较低的检测下限、耐湿性和稳定性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 玻璃 电极 传感器 制备 电子束曝光技术 高灵敏度 溶剂挥发 铜纳米线 电极法 漏电极 耐湿性 匀胶机 制作源 中间处 烘烤 光刻 金片 上旋 贴膜 旋涂 源极 清洗 悬空 检测 支撑 制作 | ||
【主权项】：
1.一种NO2传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、清洗玻璃衬底；步骤二、采用光刻的方法在玻璃衬底的上方中间处制作Ti/Au电极作为NO2传感器的栅极，在玻璃衬底的两侧均设有电极；步骤三、采用匀胶机在玻璃衬底上旋涂一层 PMMA，旋涂时间为 30 s，转速为 3000 r/min；随后对玻璃衬底进行烘烤，使 PMMA 中的溶剂挥发；步骤四、通过电子束曝光技术在PMMA 上制备沟槽，沟槽底部为 Ti/Au电极，沟槽两侧的 PMMA 用于支撑铜纳米线，使它悬空在栅极上方；步骤五、采用金片贴膜电极法在玻璃衬底上制作源漏电极和源极。
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