[发明专利]一种三维精密压电传感装置

摘要

本发明公开了一种三维精密压电传感装置，它解决了现有技术中传感装置检测精度差的问题，具有实现三自由度检测、灵敏度高的有益效果，其方案如下：一种三维精密压电传感装置，包括基体，基体内设置凹槽形成中心框体；第一平面内传感单元，包括围绕中心框体设置的力作用带，中心框体的各个角分别通过导向机构与基体相连，中心框体的输出端与第一力放大机构连接，对中心框体的作用力经第一力放大机构放大后传递给相应侧的压电晶块。

主权项

1.一种三维精密压电传感装置，其特征在于，包括：基体，基体内设有凹槽，凹槽内设置中心框体；第一平面内传感单元，包括力作用带，第一平面内四条作用带构成中心框体，同一方向两力作用带的四端分别通过导向机构与基体各自连接，中心框体的输出端与第一力放大机构连接，对中心框体的作用力经第一力放大机构放大后传递给相应侧的压电晶块；所述第一平面内传感单元包括：X向传感单元，包括设于中心框体两侧的X正向作用带和X反向作用带，两作用带的四端分别设置X导向机构，X导向机构一端与基体连接，另一端与中心框体连接，中心框体的输出端与同基体连接的X向第一力放大机构连接，经X向第一力放大机构放大后的被测力最终经X输出铰链传递到X向压电晶块，Y向传感单元，与X向传感单元方向在同一平面内，与X向传感单元相互垂直，且结构相同；所述X向压电晶块两端通过粘合剂与所述X输出铰链、基体固连；该装置，还包括Z向传感单元，Z向传感单元的被测力方向与第一平面垂直；所述Z向传感单元包括Z压力作用带和压曲机构，压曲机构设于Z压力作用带的两端，压曲机构两端分别与第二力放大机构的输入块连接，第二力放大机构位于中心框体内，并通过Z向导向机构连接到中心框体，对压曲机构的作用力经力放大机构放大后传递给Z向压电晶块，Z向压电晶块两端分别与第二力放大机构的两输出块固连；所述第二力放大机构为对称桥式结构，Z向压电晶块设于所述压曲机构的下方。